Il regolatore di portata massica FLEXI-FLOW Compact raggiunge un tempo di risposta di 150 msec senza overshoot. In tal modo, riusciamo a soddisfare le esigenze dei clienti del settore del confezionamento sottovuoto, che necessitano di soluzioni multicanale che offrano un controllo stabile e rapido della portata, in combinazione con la funzionalità shut-off.

Gli utenti finali dei dispositivi di deposizione sottovuoto richiedono un sistema di alimentazione del gas con una risposta molto rapida. Ottimizzano le condizioni di processo, come la pressione e la portata del gas, e monitorano il risultato misurando lo spessore del rivestimento durante il processo di rivestimento. Nel corso del processo, la portata di gas deve essere stabile e regolata per mantenere il rivestimento del giusto spessore e della corretta composizione.

Quando il sistema di sputtering osserva una variazione dello spessore o della trasparenza, corregge il processo di deposizione regolando le portate del gas. Pertanto, è necessario un controllo rapido della portata, con una risposta nell’ordine dei 150 millisecondi.

Il regolatore di portata massica FLEXI-FLOW è in grado di farlo. In caso di variazioni della pressione di ingresso, il regolatore della portata di gas mantiene il flusso sul setpoint nel modo più reattivo possibile. Quando si verificano cambiamenti nella camera del reattore, il regolatore di portata riceve un nuovo setpoint. In questo modo, la risposta rapida ai nuovi setpoint si traduce in una riduzione degli scarti e dei prodotti rifiutati.